H1 Granted patent

Menetelmä gradienttilämpövuoanturin valmistamiseksi


Publication Details
Authors: Kuisma Mikko, Immonen Antti, Levikari Saku
Publication year: 2020
Language: Finnish
JUFO-Level of this publication:
Open Access: Not an Open Access publication

Abstract

Menetelmässä gradienttilämpövuoanturin valmistamiseksi pinnoitetaan (101) tasomainen pinta puolijohdekerroksella, poistetaan (102) materiaalia puolijohdekerroksesta siten, että muodostuu keskenään samansuuntaisia puolijohdeharjanteita, joilla on kaltevat sivuseinät, ja täytetään (104) vierekkäisten puolijohdeharjanteiden väliset raot siten, että muodostuu metallipuolijohdekosketusliitoksia puolijohdeharjanteiden kalteville sivuseinille. Kaltevilla sivuseinillä olevien metallipuolijohdekosketusliitosten takia puolijohdeharjanteet ja rakotäytteet muodostavat anisotrooppisen monikerrosrakenteen sähkömotorisen voiman muodostamiseksi suunnassa, joka on kohtisuora puolijohdeharjanteisiin nähden ja samansuuntainen tasomaisen pinnan kanssa, vasteena lämpövuohon anisotrooppisen monikerrosrakenteen läpi tasomaiseen pintaan nähden kohtisuorassa suunnassa.


Projects
Q-HEALTH (01/01/2017 - 01/01/2019)

Last updated on 2020-09-11 at 11:55

Share link