Menetelmässä gradienttilämpövuoanturin valmistamiseksi pinnoitetaan (101) tasomainen pinta puolijohdekerroksella, poistetaan (102) materiaalia puolijohdekerroksesta siten, että muodostuu keskenään samansuuntaisia puolijohdeharjanteita, joilla on kaltevat sivuseinät, ja täytetään (104) vierekkäisten puolijohdeharjanteiden väliset raot siten, että muodostuu metallipuolijohdekosketusliitoksia puolijohdeharjanteiden kalteville sivuseinille. Kaltevilla sivuseinillä olevien metallipuolijohdekosketusliitosten takia puolijohdeharjanteet ja rakotäytteet muodostavat anisotrooppisen monikerrosrakenteen sähkömotorisen voiman muodostamiseksi suunnassa, joka on kohtisuora puolijohdeharjanteisiin nähden ja samansuuntainen tasomaisen pinnan kanssa, vasteena lämpövuohon anisotrooppisen monikerrosrakenteen läpi tasomaiseen pintaan nähden kohtisuorassa suunnassa.